渦輪分子泵是1956年德國人W.Becker發(fā)明的一種高速旋轉的機械真空泵。它也是一種大抽速可獲得超高真空的新型分子泵。在各個應用領域中得到了廣泛的應用和普及。1985年以來出現了一種工作壓力范圍更寬的大流量的復合式渦輪分子泵，它可代替擴散泵+羅茨泵或渦輪分子泵+羅茨泵。擴大了渦輪分子泵的使用范圍。在半導體制造設備上用以獲得清潔的高真空。人們對渦輪分子泵的改進倍受重視。不斷出現新型的組合式分子泵。如可直排大氣到高真空的組合泵應用更方便了、占地面積也少了。
渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
特點
抽速大、無油、啟動快
工作范圍：低真空~中、高真空，大氣~超高真空
極限真空： 10-6 / 10-10 torr
缺點：振動、成本高、易損
渦輪分子泵的軸承由有油潤滑的滾動軸承和滑動軸承向完全非接觸式的空氣軸承和磁軸承方向發(fā)展。轉子的抽氣單元有渦輪葉片、盤式葉片和牽引式螺旋槽結構。而且動、靜葉片間的間隙很小，葉片很長剛性差。由于操作錯誤，突暴大氣到泵中，使葉片損壞，因為受大氣負載和離心力的作用開始彎曲振動，超過動、靜葉片的間隙將會發(fā)生葉片相碰損壞事故。因而，高速旋轉的轉子系統(tǒng)遭到破壞時有發(fā)生，所以關于渦輪分子泵的安全使用問題，曾引起過渦輪分子泵的設計者和操作者的重視和研究，以使渦輪分子泵順利推廣應用與安全運行。
由于渦輪分子泵使用方便，因此得到廣泛的應用和普及。但是，高速的回轉體，萬一遭到損壞或發(fā)生能量轉換對結構的破壞是難以估量的。所以使用者對此必須要有高度的重視。日本曾提出渦輪分子泵安全使用準則及釋放轉矩測試方法的建議以引起用戶注意。真空泵的用途很廣，使用的條件也多種多樣。如使用的工作壓力，被抽氣體的種類和性質不同時，所要考慮的對策也就不同了。如異物的混入，吸氣口處安裝有保護的金屬網，網孔的大小直接影響泵的抽氣效率。因此，對各種對策要綜合來考慮其效果。
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